藍(lán)寶石隔膜真空計(jì) SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機(jī)械特性優(yōu)異的單晶體藍(lán)寶石，通過檢測(cè)靜電容量，即使在高溫檢測(cè)環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)高的檢測(cè)重復(fù)性。
通過*的信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測(cè)，由微加工技術(shù)而形成的藍(lán)寶石傳感器實(shí)現(xiàn)了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計(jì)。

提高品質(zhì)

真空計(jì)多數(shù)在有大的壓力環(huán)境下使用，是容易因各種原因引起零點(diǎn)漂移的產(chǎn)品。真空計(jì)的零點(diǎn)漂移會(huì)影響控制量，從而會(huì)影響終產(chǎn)品的品質(zhì)。藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)采用了零點(diǎn)不易漂移的構(gòu)造。

提高生產(chǎn)性

減少了設(shè)備的停機(jī)時(shí)間。備有用于減少停機(jī)避免時(shí)間浪費(fèi)的功能。

山武azbil藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)

概要

藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)SPG系列采用了藍(lán)寶石靜電容量式圧力傳感器是具有高精度、高可靠性、高耐蝕性的小型?輕量的隔膜真空計(jì)主要用于半導(dǎo)體工藝流程

特長

采樣高付腐蝕性、高時(shí)熱性的單品體藍(lán)寶石感壓部材料采用具有高付蝕性、高熱性、機(jī)械特性優(yōu)異的單品體藍(lán)寶石,通過靜電容量檢測(cè)方式,即使在高溫檢測(cè)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高的檢測(cè)重復(fù)性

檢測(cè)誤差小

采用*的信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測(cè)

?小型/輕量的本體

通過采用*的足微機(jī)械加工技術(shù)形成的藍(lán)寶石傳感器、實(shí)現(xiàn)了大幅度的小型/輕量化簡(jiǎn)單的零點(diǎn)調(diào)整功能通過Auto零點(diǎn)調(diào)整開關(guān)或 Up/Down零點(diǎn)調(diào)整開關(guān),可簡(jiǎn)單地進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整

?機(jī)器狀態(tài)顯示

通過LED足示,可一目了然地判斷產(chǎn)品的狀態(tài)(正常、預(yù)熱中、異常)

·迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制

通過采用了微處理器的數(shù)字PD運(yùn)算對(duì)加熱器進(jìn)行溫度控制實(shí)現(xiàn)了迅速啟動(dòng)和穩(wěn)定的溫度控制

·智能編程器軟件包對(duì)應(yīng)

智能編程器軟件包對(duì)應(yīng)(另售SLP-SP5J70)可方便地進(jìn)行監(jiān)視和參數(shù)的讀寫

符合CE

符合C指令、符合CE標(biāo)識(shí)。(適合規(guī)格:EN61326、EN55011)

如有需要詳情，請(qǐng)見：山武azbil藍(lán)寶石隔膜真空計(jì)