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海德漢光柵尺LIC2107精度0.1 µm~0.05 µm LIC 2117,LIC 2197 式直線光柵尺,大測量長度3 m ? 測量步距0.1 µm或0.05 µm ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并中間固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
heidenhain海德漢光柵尺LIC4009精度0.001µm LIC 4119,LIC 4199 式直線光柵尺,大測量長度1 m ? 測量步距達0.001 µm(1 nm) ? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
heidenhain海德漢光柵尺LIC4197精度0.001µm LIC 4117,LIC 4197 式直線光柵尺,大測量長度6 m ? 測量步距達0.001 µm(1 nm) ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并中間固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
heidenhain海德漢光柵尺LIC4005精度0.001µm LIC 4115,LIC 4195 式直線光柵尺,大測量長度28 m ? 測量步距達0.001 µm(1 nm) ? 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預緊 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
heidenhain海德漢光柵尺LIC4003精度0.001µm LIC 4113,LIC 4193 式直線光柵尺,大測量長度3 m ? 測量步距小至0.001 µm ? 玻璃或玻璃陶瓷測量基準 ? 玻璃光柵尺,背膠固定 ? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成